[实用新型]一种无尘室专用钻孔加工辅助治具

摘要

本实用新型公开了半导体加工制造领域内的一种无尘室专用钻孔加工辅助治具，包括筒状罩体，所述罩体包括从左到右依次设置的伸缩筒体、固定筒体和旋转筒体，伸缩筒体与固定筒体之间轴向设置有弹性伸缩机构，旋转筒体与固定筒体相转动连接，所述伸缩筒体的环形端面上连接有磁铁吸环，所述固定筒体上开设有吸尘孔，吸尘孔经管线与吸尘机构相连接，所述伸缩筒体的端部对应待加工物设置，所述旋转钻头从旋转筒体的端部开口轴向伸入筒状罩体内部，旋转钻头的端部与磁铁吸环相对应设置，所述旋转钻头的钻头壳体与旋转筒体通过紧固件相固定。本实用新型解决钻孔加工时产生金属、非金属颗粒导致污染环境的问题。