[实用新型]一种低温等离子UV光解一体化设备

摘要

本实用新型公开了一种低温等离子UV光解一体化设备，包括喷淋区、干燥区、等离子处理区、UV光束处理区和基板，所述喷淋区、干燥区、等离子处理区和UV光束处理区从左至右对应设置于基板的上部，所述干燥区的远离喷淋区的一端安装有干燥器，所述干燥器的另一端与等离子处理区连接，所述干燥区与干燥器之间设置有引气组件，所述等离子处理区的内部从左至右对应设置有搅拌杆、支架和竖板。本实用新型通过设置喷淋区、干燥区、引气组件、干燥器、等离子处理区、UV光束处理区、气体流量计、PLC控制器以及气体质量传感器，解决了设备的净气效果不够好，易存在杂物残留以及其不能检测气体净化质量的问题。