[实用新型]一种半导体设备用密封性能检验机构有效
| 申请号： | 201921021800.6 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN210221427U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王迪杏;蒋伟;王宁;张阳;秦文兵;王金裕;苗全;盛路阳;王伟;顾育琪 | 申请（专利权）人： | 无锡迪渊特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/28 | 分类号： | G01M3/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，该半导体设备用密封性能检验机构，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率，整体结构合理，使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 备用 密封 性能 检验 机构 | ||
【主权项】：
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