[实用新型]一种行星轮晶控装置有效
| 申请号： | 201920998644.2 | 申请日： | 2019-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN210420248U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 常洪兴;徐胜 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种行星轮晶控装置。该行星轮晶控装置旋转盘的中部设有中心杆，中心杆的顶部固定有晶控仪探头支架，晶控仪探头支架上设有晶控仪探头，该晶控仪探头能够实时检测镀膜区域的膜厚，减少了多个晶控检测的经济成本，同时也大大提高了监控精度。行星轮转动时，晶控仪探头在行星轮中间位置固定，不跟随转动，且保证水路、气路、电路的正常运转，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此外，该行星轮晶控装置结构简单，对镀膜的厚度监控技术准确，降低了设备成本，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 轮晶控 装置 | ||
【主权项】：
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