[实用新型]一种锗基底长波红外带通滤光片有效
| 申请号： | 201920992197.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN209979887U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 赵中亮 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200434 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种锗基底上的8~12μm长波红外带通滤光片，该带通滤光片使用了锗（Ge）和硫化锌（ZnS）为不同折射率的镀膜材料，使用物理气相沉积（PVD）的方法，并以离子源辅助沉积与合适的基底烘烤温度等特定工艺条件，在锗基底的两个表面分别沉积多层非规整的膜层。该长波红外带通滤光片可以使得在8~12μm波长区间具有良好的透光效果，平均透过率＞90%，在1~7.5μm和12.5~17μm波段内高度截止，可以有效降低杂散光干扰，提高红外探测器的灵敏度和探测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 红外带通滤光片 长波 锗基 离子源辅助沉积 物理气相沉积 本实用新型 带通滤光片 红外探测器 杂散光干扰 波长区间 镀膜材料 工艺条件 探测效率 透光效果 规整 灵敏度 硫化锌 透过率 折射率 波段 烘烤 多层 基底 膜层 沉积 截止 | ||
【主权项】：
1.一种锗基底长波红外带通滤光片，其结构为：在基底的正面沉积正面膜系（1），在基底的反面沉积结构相同的背面膜系（3），其特征在于：/na、所述的正面膜系（1）的膜系结构为：/n锗基底/0.3H 0.205L 0.859H 0.5L 0.377H 0.396L 0.265H 0.383L 0.381H 0.436L0.394H 0.237L 0.371H 0.387L 0.477H 0.658L 0.445H 0.46L 0.441H 0.517L 0.601H0.457L 0.469H 0.597L 0.502H 0.526L 0.612H 0.589L 0.805H 0.657L 0.964H 0.428L1.073H 0.433L 0.715H 0.756L 0.581H 0.843L 0.442H 0.941L 0.496H 0.1.059L0.786H 1.019L 0.925H 0.807L 1.116H 1.177L 0.665H 0.996L 1.125H 1.181L 0.556H1.006L 1.258H 1.622L/空气/nb、所述的背面膜系（3）的膜系结构为：/n锗基底/ 0.375H 0.247L 3.364H 2.651L 2.977H 0.62L 2.977H 2.252L 2.461H2.216L 2.374H 2.324L 2.309H 2.464L 2.028H 1.244L /空气/n其中，H表示一个λ
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