[实用新型]一种测试用载具有效
| 申请号： | 201920966965.4 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210347848U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 辛军启;蒋小金 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/01;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种测试用载具，测试用载具包括绝缘支撑基座、导电支撑部以及缓冲部，导电支撑部的直径小于绝缘支撑基座的直径，导电支撑部包括与所述绝缘支撑基座连接的第一部分以及自所述第一部分的中间延伸形成凸台结构的第二部分，第二部分的直径小于第一部分的直径；缓冲部设置在第一部分上方及第二部分形成的凸台结构的外围，并且与第二部分等高设置，缓冲部能够避免晶圆与导电支撑部接触时由于水平问题带来的点接触造成晶圆破裂。测试用载具还包括设置在导电支撑部的外围及绝缘支撑基座上方的外围承载部，其能够防止晶圆与导电支撑部接触太快造成晶圆破裂。上述测试用载具适用于不同类型、不同尺寸的晶圆，降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 用载具 | ||
【主权项】：
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