[实用新型]搬送装置清洁系统有效
| 申请号： | 201920958039.2 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN210647529U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 卓飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及清洁设备技术领域，公开了一种搬送装置清洁系统，包括：容纳搬送装置的清洁室；走行所述搬送装置的维修轨道，所述清洁室设置在所述维修轨道上；第一传感器，所述第一传感器设置在所述维修轨道上，所述第一传感器与所述清洁室连接。本实用新型提供的搬送装置清洁系统能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，减少人力成本、提高搬送装置的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 清洁 系统 | ||
【主权项】：
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