[实用新型]一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置有效
| 申请号： | 201920949031.X | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210997815U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 许文虎;程远瑶;钟敏;袁任江;蒋建中 | 申请（专利权）人： | 南昌大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B37/11;B24B37/34;B24B47/22;B24B57/02 |
| 代理公司： | 南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123 | 代理人： | 刘爱芳 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型属于宝石抛光技术领域，特别涉及一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置，包括抛光盘、抛光头，蓝宝石衬底材料固定于抛光头的底部，抛光盘上表面为抛光垫，抛光盘、抛光头分别经由第一直线电机、第二直线电机带动转动；还设有用于产生超声脉冲电流的超声发生控制箱，所述超声发生控制箱与设置于抛光头上的压电陶瓷电连接，所述压电陶瓷产生脉冲振动；还包括电化学反应回路。本实用新型在电化学腐蚀的作用下蓝宝石衬底材料表面的化学反应加快，软物质生成加快。本实用新型在超声、电、化学、机械多能场复合作用下，蓝宝石衬底材料的抛光效率和拋光质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声 电化学 机械抛光 蓝宝石 衬底 材料 装置 | ||
【主权项】：
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