[实用新型]一种直流磁控溅射高熵合金薄膜铣刀挂架

摘要

本实用新型公开了一种直流磁控溅射高熵合金薄膜铣刀挂架，包括有支撑柱、放置架组件，所述放置架组件包括套在支撑柱上的放置盘、滑动套设在支撑柱上的滑动套、一端铰接在滑动套上的连杆；放置盘侧面沿径向延伸有承载臂，承载臂上滑动连接有放置环，连杆的另一端铰接在放置环上；承载臂上安装驱动放置环向支撑柱一侧移动的复位弹簧，承载臂与放置盘的连接端设置有向上凸起的限制台；滑动套位于放置盘的下方，支撑柱上开设有销孔，销孔内插装有限制滑动套下移的限位销。本实用新型能够自动将挂架上的所有铣刀均与放置结构一次性脱离，因此有利于提高自动化程度及安全性能。