[实用新型]一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统

摘要

本实用新型公开一种新型PECVD等离子设备智能药水配比系统，包括一个PECVD等离子设备真空仓体、两个第一药水蒸发罐、一个第二药水蒸发罐、一真空泵组，在PECVD等离子设备真空仓体的外周配设了多个药水蒸发罐，这些药水蒸发罐通过各自对应的多个接口与PECVD等离子设备真空仓体相连，且这些接口在PECVD等离子设备真空仓体上是均匀分布的，从而使得多种药水蒸发罐蒸发出的等离子气体在PECVD等离子设备真空仓体上均匀分布。同时，还配设有真空泵组，真空泵组与PECVD等离子设备真空仓体的两个以上的第三接口相接，相对于传统只有一个接口，两个以上的第三接口使得抽真空更为快速，再配置真空角阀和碟阀，用于与控制中心连接，实现智能控制。