[实用新型]可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备有效
| 申请号： | 201920835406.X | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN210884895U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 邓金生;周宏业;黎佐兴;李时俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/22 | 分类号： | B66C1/22;C23C16/50 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备，具体包括安装板，多个间隔设置在安装板底部的吊爪，每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。本实用新型通过设置多个吊爪，实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 吊装 石墨 结构 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
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