[实用新型]一种辅助阳极装置有效
| 申请号： | 201920805168.8 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN210765490U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李立升;林海天;岑洪师 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424 | 代理人： | 田小红 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种辅助阳极装置，包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；支撑座和锁紧件为绝缘材料；支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔；冷却水面板放置在支撑座上端；冷却水面板上具有进水口和出水口；冷却水管道安装在冷却水面板下方且穿过第二圆孔；接线柱固定在冷却水面板上端；锁紧件顶压在冷却水面板上端面的周边且通过螺丝锁紧在阴极板上；体现出本实用新型镀膜更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 阳极 装置 | ||
【主权项】：
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