[实用新型]一种带有集成控制系统的靶材六罐反应釜有效
申请号: | 201920801528.7 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN210498373U | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 李兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B22F3/00 | 分类号: | B22F3/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材六罐反应釜,包括电控柜及集成控制系统,集成控制系统设置有三相电源输入端口,三相电源输入端口并联有主控电路、搅拌驱动电路、排水驱动电路和加热驱动电路,主控电路包括人机输入界面和PLC控制器,PLC控制器通过多个输出控制接口导通或者切断搅拌驱动电路、排水驱动电路和加热驱动电路,反应釜的搅拌轴电连接于搅拌驱动电路,反应釜的发热管电连接于加热驱动电路,各个反应釜的排液管驱动连接于排水驱动电路。本实用新型能够在一个控制面板上同时设定六个反应釜的运行参数,用户操作更便捷,也便于用户观察设备的整体运行情况、以及便于用户对电控柜内的电子线路定时检测和维修。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 集成 控制系统 靶材六罐 反应 | ||
【主权项】:
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