[实用新型]一种掏片式硅片传输机构有效
| 申请号： | 201920794911.4 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN209691778U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 冯瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掏片式硅片传输机构，包括夹持组件和传输组件，传输组件为直线电机，夹持组件通过安装板连接于直线电机的动子座上，夹持组件包括若干吸力臂，吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头，真空腔体一端与安装板固定连接，真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔，盖板水平密封真空腔，盖板上设置有连通真空腔的气孔，抽气接头设置于真空腔体下方且连通真空腔，方便从其他机构拾取硅片，硅片表面未全部放置于夹持组件上，接触面积小，减小出现不良影响的概率，结构简单，运行速度快且平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持组件 真空腔体 真空腔 抽气接头 传输组件 直线电机 盖板 力臂 连通 安装板固定 本实用新型 密封真空腔 盖板水平 硅片表面 硅片传输 一端设置 安装板 动子座 硅片 减小 片式 拾取 开口 概率 | ||
【主权项】：
1.一种掏片式硅片传输机构，其特征在于，包括夹持组件和传输组件，所述传输组件为直线电机，所述夹持组件通过安装板连接于所述直线电机的动子座上，所述夹持组件包括若干吸力臂，所述吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头，所述真空腔体一端与所述安装板固定连接，所述真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔，所述盖板水平密封所述真空腔，所述盖板上设置有连通所述真空腔的气孔，所述抽气接头设置于所述真空腔体下方且连通所述真空腔。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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