[实用新型]一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置有效
| 申请号： | 201920788135.7 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN209859929U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 陈国龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;F26B15/14;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 44217 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置，包括用于支撑整个干燥装置的机架、固定在机架上的隧道炉、设于隧道炉顶部的FFU干燥装置、用于装载硅片的花篮和用于将花篮移入隧道炉内进行干燥的干燥移栽机构；机架上、隧道炉的两侧分别为上料位和下料位，隧道炉的上料位侧设有隧道炉入料门装置，隧道炉的下料位侧设有隧道炉出料门装置。本实用新型通过花篮装载硅片有助于对硅片进行保护，降低了硅片的损伤概率。 | ||
| 搜索关键词： | 隧道炉 硅片 花篮 干燥装置 上料位 下料位 装载 本实用新型 出料门装置 太阳能设备 硅片干燥 入料门 移入 载具 移栽 损伤 概率 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能设备载具式输送硅片干燥装置，其特征在于：包括用于支撑整个干燥装置的机架(2)、固定在机架(2)上的隧道炉(3)、设于隧道炉(3)顶部的FFU干燥装置(4)、用于装载硅片的花篮(5)和用于将花篮(5)移入隧道炉(3)内进行干燥的干燥移栽机构；所述机架(2)上、隧道炉(3)的两侧分别为上料位(6)和下料位(7)，所述隧道炉(3)的上料位(6)侧设有隧道炉入料门装置(8)，所述隧道炉(3)的下料位(7)侧设有隧道炉出料门装置(9)；所述干燥移栽机构包括支撑平台(12)、用于将花篮(5)定位的花篮定位块(10)、用于通过顶升和下方支撑平台(12)实现花篮(5)定位和垂直位移的第一气缸(11)和用于平移支撑平台(12)的第二气缸(13)，若干个所述花篮定位块(10)均匀间隔设于支撑平台(12)两侧。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
