[实用新型]一种蒸发舟调节机构、加热装置及蒸镀机有效
申请号: | 201920773266.8 | 申请日: | 2019-05-27 |
公开(公告)号: | CN210122589U | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 范光华;高崇 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及OLED制造技术领域,公开了一种蒸发舟调节机构、加热装置及蒸镀机。蒸发舟调节机构包括安装组件,安装组件包括夹持部和紧固件,夹持部具有一贯通结构,允许蒸发舟的一端在夹持部的贯通结构内滑动到预期位置,并由紧固件固定,自由滑动的蒸发舟能带动蒸发源一起移动,扩大了蒸发舟的移动距离,能够适应更大范围的不同面积的OLED器件,且结构简单,调节方便。本实用新型提供的加热装置包括上述的蒸发舟调节机构,提供的蒸镀机包括上述的加热装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 调节 机构 加热 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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