[实用新型]一种新型加热体上盖散热装置有效
申请号: | 201920744405.4 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN210108036U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 刘洋 | 申请(专利权)人: | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;F27D1/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供一种新型加热体上盖散热装置,包括上腔、引极法兰、引极法兰锁紧装置、上腔进水嘴、上腔出水嘴、加热体,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:结构设计合理,加热体升高温完成工艺生长后,可以通过气缸将保温端口直接提起,这样加热体内部的热量可以通过加热体顶部迅速的散出,而冷却上盖和上腔通有冷却水,将散出的热量迅速带出,待加热体温度降到一定程度后,可以手动操作打开上盖锁紧装置,通过上盖升起旋转组件将冷却上盖打开,更快速的使加热体降温,如此使加热体温度降到所需要的工艺起始温度缩短减少了1‑2个小时,大大加快了加热体的降温速率,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 加热 体上盖 散热 装置 | ||
【主权项】:
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