[实用新型]一种新型加热体上盖散热装置有效

专利信息
申请号: 201920744405.4 申请日: 2019-05-23
公开(公告)号: CN210108036U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 刘洋 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: F27D1/18 分类号: F27D1/18;F27D1/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供一种新型加热体上盖散热装置,包括上腔、引极法兰、引极法兰锁紧装置、上腔进水嘴、上腔出水嘴、加热体,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:结构设计合理,加热体升高温完成工艺生长后,可以通过气缸将保温端口直接提起,这样加热体内部的热量可以通过加热体顶部迅速的散出,而冷却上盖和上腔通有冷却水,将散出的热量迅速带出,待加热体温度降到一定程度后,可以手动操作打开上盖锁紧装置,通过上盖升起旋转组件将冷却上盖打开,更快速的使加热体降温,如此使加热体温度降到所需要的工艺起始温度缩短减少了1‑2个小时,大大加快了加热体的降温速率,提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 新型 加热 体上盖 散热 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛精诚华旗微电子设备有限公司,未经青岛精诚华旗微电子设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920744405.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top