[实用新型]一种循环式溅镀设备有效
| 申请号： | 201920733692.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN209989458U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 陈道理 | 申请（专利权）人： | 盱眙新远光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种循环式溅镀设备，包括：溅镀装置I、溅镀装置II，所述溅镀装置I、溅镀装置II并排设置，所述溅镀装置I上设有溅镀气体存储罐，所述溅镀气体存储罐通过溅镀气体输送管连接于溅镀气体充气管上，溅镀装置I一侧设有循环排气管，循环排气管连接于循环泵，循环泵安装在循环泵固定座上，所述循环泵的出口连接有溅镀气体循环管，溅镀气体循环管连接于溅镀装置II的充气口上，溅镀装置II一侧设有溅镀气体回收管，溅镀气体回收管通过回收泵连接于溅镀气体回收罐上。本实用新型可以在溅镀装置I停机时及时将溅镀气体循环到溅镀装置II内，可以大量节约溅镀气体，而且，在溅镀装置II停机时，通过回收泵储存在溅镀气体回收罐内，避免浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀装置 溅镀 循环泵 本实用新型 气体存储罐 气体回收管 气体循环管 回收泵 排气管 停机 气体回收罐 气体输送管 并排设置 出口连接 溅镀设备 气体回收 气体循环 充气管 充气口 固定座 循环式 储存 节约 | ||
【主权项】：
1.一种循环式溅镀设备，包括：溅镀装置I、溅镀装置II，其特征在于：所述溅镀装置I、溅镀装置II并排设置，所述溅镀装置I上设有溅镀气体存储罐，所述溅镀气体存储罐通过溅镀气体输送管连接于溅镀气体充气管上，所述溅镀气体充气管安装在溅镀装置I的充气口上，所述溅镀装置I一侧设有循环排气管，所述循环排气管连接于循环泵，循环泵安装在循环泵固定座上，所述循环泵的出口连接有溅镀气体循环管，所述溅镀气体循环管连接于溅镀装置II的充气口上，所述溅镀装置II一侧设有溅镀气体回收管，所述溅镀气体回收管通过回收泵连接于溅镀气体回收罐上。/n
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