[实用新型]一种蚀刻系统有效
| 申请号： | 201920724124.2 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN210093691U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 郭立铭 | 申请（专利权）人： | 惠州市捷成机电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 516200 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蚀刻系统。该蚀刻系统包括动力装置、第一输送管、第二输送管及喷淋装置；动力装置用于输送药液；第一输送管和第二输送管与动力装置连接，第一输送管与第二输送管呈对称分布；动力装置将药液分别输送给第一输送管和第二输送管；喷淋装置包括多个第一喷淋装置和多个第二喷淋装置，多个第一喷淋装置分别与第一输送管连接，多个第二喷淋装置分别与第二输送管连接；多个第一喷淋装置和多个第二喷淋装置均呈行列排布，第一喷淋装置第二喷淋装置一一对应；第一喷淋装置相对基板均成倾斜设置，相邻行的第一喷淋装置分别朝两个相对的方向倾斜。上述蚀刻系统，能够减少水池效应，同时有效控制蚀刻因子，提高蚀刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 系统 | ||
【主权项】：
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