[实用新型]一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统

摘要

本实用新型提供一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：提高传动位置的精准度，无须人工调节寻找原点，同时扩大丝杠的长度选型范围。

主权项

1.一种半导体工艺设备上的带原点复位传动系统，包括夹持座、夹板、送料杆、反应室以及丝杠，其特征在于：所述夹板通过螺栓安装在夹持座上端面，所述夹板与夹持座之间安装两组送料杆，所述送料杆左端延伸至反应室内，所述丝杠上套设滚珠螺母副，所述滚珠螺母副与夹持座固定连接，所述丝杠左端安装支板一，且丝杠右端安装支板二，所述支板二右端面安装伺服电机，所述丝杠右端与伺服电机输出端固定连接，所述支板二左端面后侧安装进料限位传感器，且支板二左端面前侧安装原点限位传感器，所述支板一右端面前侧开设通孔，所述通孔内安插螺纹杆，所述螺纹杆右端固定载板，所述载板右端面安装退料限位传感器，所述螺纹杆上啮合螺母一和螺母二，所述螺母一设置在支板一左侧，所述螺母二设置在支板一右侧，所述支板一和支板二之间安装导向杆。/n