[实用新型]机械手自动粘钉机有效
| 申请号： | 201920706967.X | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN209859915U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 吕辉强 | 申请（专利权）人： | 沈阳汉科半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体石英制品加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种机械手自动粘钉机，可自动进行粘钉，强度好且精度高，提高工作效率；包括机械手自动粘钉机，包括机架、石英灯和控制箱，机架上设置有机械手臂、定位石墨盘驱动装置、石英钉载物台、石英灯伸缩机构和控制面板，机械手臂上设置有石英钉石墨卡头，定位石墨盘驱动装置上设置有定位石墨盘，定位石墨盘上设置有石英片锁紧装置，石英灯安装在石英灯伸缩机构上。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨盘 石英灯 粘钉 机械手 机械手臂 驱动装置 伸缩机构 石英 本实用新型 附属装置 工作效率 控制面板 石英制品 锁紧装置 控制箱 石英片 载物台 石墨 卡头 半导体 加工 | ||
【主权项】：
1.一种机械手自动粘钉机，其特征在于，包括机架、石英灯(7)和控制箱(9)，所述机架上设置有机械手臂(1)、定位石墨盘驱动装置(2)、石英钉载物台(3)、石英灯(7)伸缩机构(6)和控制面板(8)，所述机械手臂(1)上设置有石英钉石墨卡头(4)，所述定位石墨盘驱动装置(2)上设置有定位石墨盘(10)，所述定位石墨盘(10)上设置有石英片锁紧装置(5)，所述石英灯(7)安装在石英灯(7)伸缩机构(6)上。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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