[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体

摘要

本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体，包括入口管、外管、内管、出水管、进水管，所述外管和内管通过上法兰和下法兰焊接固定，所述外管设于内管外侧且两者之间形成一冷却腔，所述入口管有若干个，入口管安装于内管的侧面且呈周向分布，入口管的外端延伸至外管的外侧，冷却腔和入口管之间通过隔绝管密封，所述出水管和进水管分别设在外管壁上方和下方且和冷却腔相通,所述下法兰的侧面安装有与内管连通的进气管。这种半导体废气处理设备的废气反应腔体，在使用过程中隔热效果优越、密封性好、热能损失小、安装方便快捷。