[实用新型]一种集成电路生产用排风节能设备

摘要

本实用新型提供一种集成电路生产用排风节能设备。所述集成电路生产用排风节能设备包括：无尘室和无尘室空调机组；测试机，所述测试机设置于所述无尘室的内部；罩体，所述罩体设置于所述无尘室的内部且位于所述测试机的表面；送风管，所述送风管的一端连通于所述无尘室空调机组的进风端。本实用新型提供的集成电路生产用排风节能设备，通过抽风泵工作通过连接管、排风集气管、排风管和抽风管将测试机附近携带热量的气体送入至送风管中，再由送风管送入至无尘室空调机组内，利用无尘室空调机组控制热能需求，变废为宝，可有效降低能资源损耗，达到节能减排效果，最后由无尘室空调机组往无尘室中补充恒温恒湿的气体。