[实用新型]一种单个晶圆电性能测试装置有效
| 申请号： | 201920676628.1 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN210181167U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨月平;陈培专;李劼;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人： | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单个晶圆电性能测试装置，包括：测试罩，其内部安装有可伸缩探针，测试罩上表面具有金属圆板，金属圆板与可伸缩探针连接；测试罩上方设置有导管，两侧设置有旋转固定机构，导管连接至测试罩内部，导管上设有阻断测试罩内部和外界连通的关闭阀门；测试罩一侧设置有放气阀；测试底座，其上部设置有晶圆台，晶圆台底部安装有金属板，晶圆台周围设置有硅橡胶条；测试底座上设置有锁扣，其位于硅橡胶条两侧，测试底座设置有螺丝钉，螺丝钉与晶圆台底部的金属板之间连接有导线。本实用新型解决了长期保存同一颗晶圆进行测试和因直接接触晶圆和拉弧现象导致晶圆被击穿的问题。结构简单，使用方便，可以连接不同测试设备进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单个 晶圆电 性能 测试 装置 | ||
【主权项】：
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