[实用新型]具有位移和力测量功能的二维解耦型超声振动抛光装置有效
| 申请号： | 201920671958.1 | 申请日： | 2019-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN209850499U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 吴庆玲;王翠;郑旭浩;韩天格;杨天时;陈浩 | 申请（专利权）人： | 吉林交通职业技术学院 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B41/00 |
| 代理公司： | 22100 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 魏征骥 |
| 地址： | 130012 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 实用新型涉及一种具有位移和力测量功能的二维解耦型超声振动抛光装置，属于超精密车削加工技术领域。柔性铰链模块的基体与支撑模块的顶部固定连接，驱动模块包括x压电片叠堆和y压电片叠堆，x压电片叠堆位于柔性铰链模块的x导向单元与基体之间，y压电片叠堆位于柔性铰链模块的y导向单元与基体之间，位移检测模块与支撑模块固定连接、位移检测模块的x光栅尺、y光栅尺分别紧贴于x导向单元、y导向单元的正下方，力检测模块与支撑模块上方固定连接。优点是结构新颖，减小偶合振动，使得抛光工具的运动精度更加精准，抛光效果好，力检测模块能准确传递抛光力，使得力传感器测量所得数据为实际抛光力，提高测量可靠性及精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 导向单元 压电片 叠堆 柔性铰链 支撑模块 位移检测模块 光栅尺 力检测 抛光力 加工技术领域 测量可靠性 超精密车削 传感器测量 超声振动 偶合振动 抛光工具 抛光效果 抛光装置 驱动模块 力测量 二维 减小 解耦 紧贴 传递 | ||
【主权项】：
1.一种具有位移和力测量功能的二维解耦型超声振动抛光装置，其特征在于：包括柔性铰链模块、驱动模块、位移检测模块、力检测模块、支撑模块，其中柔性铰链模块的基体与支撑模块的顶部固定连接，驱动模块包括x压电片叠堆和y压电片叠堆，x压电片叠堆位于柔性铰链模块的x导向单元与基体之间，y压电片叠堆位于柔性铰链模块的y导向单元与基体之间，位移检测模块与支撑模块固定连接、位移检测模块的x光栅尺、y光栅尺分别紧贴于x导向单元、y导向单元的正下方，力检测模块与支撑模块上方固定连接。/n
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