[实用新型]半导体激光器模块光栅外腔光谱合束系统有效
| 申请号： | 201920661845.3 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN209881093U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 孙舒娟;俞浩;王俊;潘华东;闵大勇 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/00;G02B27/14;G02B27/42;G02B27/30 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张乐乐 |
| 地址： | 215163 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体激光器模块光栅外腔光谱合束系统，包括多个激光模块、多个扩束镜、多个第一反射镜、一个傅里叶变换透镜、一个衍射光栅、一个滤波系统和一个外腔镜，每个激光模块包括多个呈台阶排布设置的发光芯片，在空间上进行合束从激光模块中发射，通过扩束镜压缩剩余发散角后由第一反射镜反射后入射至傅里叶变换透镜进行空间变换，在衍射光栅作用下形成合束光束以相同的衍射角输出，经过滤波系统过滤掉快轴方向的边缘光后到达外腔镜，防止相邻发光芯片的反馈串扰，在外腔镜的作用下部分光束被反射作为反馈光进行波长锁定；大大降低了系统体积，避免使用长焦距慢轴准直镜造成系统体积增大、质量增加和成本上升。 | ||
| 搜索关键词： | 激光模块 外腔镜 傅里叶变换透镜 发光芯片 滤波系统 衍射光栅 扩束镜 合束 半导体激光器模块 本实用新型 反射镜反射 慢轴准直镜 反馈 波长锁定 光栅外腔 合束光束 空间变换 体积增大 质量增加 边缘光 长焦距 发散角 反射镜 衍射角 串扰 快轴 排布 入射 反射 光谱 过滤 输出 压缩 发射 | ||
【主权项】：
1.一种半导体激光器模块光栅外腔光谱合束系统，其特征在于，包括：/n多个激光模块(1)，用于发射不同波长的激光，每个所述激光模块(1)包括多个沿快轴方向呈台阶排布设置的发光芯片(11)；/n多个扩束镜(2)，每个扩束镜(2)一一对应设置在一个激光模块(1)的出射面；/n多个第一反射镜(3)，每个第一反射镜(3)一一对应设置在一个扩束镜(2)的出射面；/n一个傅里叶变换透镜(4)，设置在所述多个第一反射镜(3)的反射光路上；/n一个衍射光栅(5)，设置在所述傅里叶变换透镜(4)的出射面；/n一个滤波系统(6)，设置在所述衍射光栅(5)的出射面；/n一个外腔镜(7)，设置在所述滤波系统(6)的出射面，所述外腔镜(7)为部分反射部分透射镜，多个激光模块(1)发射的多束光入射到外腔镜(7)上，部分光被反射沿原光路返回到激光模块(1)内部进行波长锁定，部分光透过外腔镜(7)进行输出。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州长光华芯光电技术有限公司，未经苏州长光华芯光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920661845.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有散热功能的光通信半导体激光器
- 下一篇：高复合效率的VCSEL芯片
