[实用新型]用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置有效
| 申请号： | 201920643133.9 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN210376218U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 常钢;马明宇;高难;周扬;陶甜;何云斌 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张秋燕;郑梦阁 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，包括容量槽、底座、支撑筛以及磁力搅拌子，其中，容量槽设有腔室以用于容纳待测溶液，支撑筛架设于容量槽的腔室中，磁力搅拌子放置于支撑筛上方以搅拌待测溶液，容量槽的底部设有与其腔室连通的开孔，容量槽与底座通过紧固件夹紧，容量槽的开孔处与底座之间用于夹紧基片，基片上布置有源漏极和沟道。本用于栅极分离式液栅型晶体管传感器的测试装置，可用于半导体参数分析系统对栅极分离式液栅型晶体管传感器进行性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 栅极 分离 式液栅型 晶体管 传感器 测试 装置 | ||
【主权项】：
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