[实用新型]一种新型喷镀装置有效
| 申请号： | 201920636693.1 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN210545955U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 杨为家;刘俊杰;赵丽特;刘铭全;何鑫;李远兴 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B1/14;B05B13/02;B05B7/04 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴伟文 |
| 地址： | 529020 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型喷镀装置，包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05‑1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。本实用新型结构简单，实用性强，不仅可以用于实验，也可以用于工业生产，同时制备纳米点、晶须、纳米薄膜；本实用新型通过高压将前驱体溶液均匀喷涂在衬底上，并且通过旋转机构，保证喷涂的均匀性；本实用新型通过电磁加热线圈可实现薄膜的快速分解、固化，从而提高薄膜的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 装置 | ||
【主权项】：
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