[实用新型]一种二极管生产用烘干装置有效
申请号: | 201920579326.2 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN210089294U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 汪立勇;涂晓;罗旭东;陈东胜 | 申请(专利权)人: | 赛米微尔半导体(上海)有限公司 |
主分类号: | F26B11/04 | 分类号: | F26B11/04;F26B21/00;F26B23/04;F26B25/12;F26B25/16;F26B25/00 |
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地址: | 201100 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种二极管生产用烘干装置,包括烘干箱,所述烘干箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个烘干筒,且烘干箱的一侧外壁通过螺栓固定有电机,所述电机的输出轴通过联轴器连接在烘干筒的传动轴上,所述烘干箱的一侧内壁通过螺栓固定有温度传感器,所述烘干箱底部外壁开设有安装口,且安装口的内壁通过螺栓固定有加热管,所述加热管内壁桶螺栓固定有有铜管,所述铜管内壁设置有风扇,所述加热管底部设置有防尘罩。本实用新型通过加热管中铜管的水热和连接管中的电热,通过两种方式进行烘干,解决了现有的烘干装置烘干方式单一的问题,通过电机带动烘干筒匀速转动便于硅片的均匀加热,采用两种烘干方式提高了硅片的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 二极管 生产 烘干 装置 | ||
【主权项】:
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