[实用新型]一种表晶圆柱体的除油装置有效
申请号: | 201920535905.7 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN210080218U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 尹毅 | 申请(专利权)人: | 烟台和锦电子有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 264000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种表晶圆柱体的除油装置,属于除油技术领域。所述表晶圆柱体的除油装置包括:驱动电机的固定端设置在机架上,驱动电机的输出端设置有第一齿轮;若干滚动机构与若干滚筒一一对应,滚筒设置在相对应的滚动机构上;滚动机构包括:两个滚轴;两个滚轴的可转动地设置在机架上,两个滚轴的同一端均设置有第二齿轮,传动链套接在第一齿轮及两个第二齿轮上,传动链分别与第一齿轮及两个第二齿轮相啮合。本实用新型表晶圆柱体的除油装置除油简便,效率高,除油效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 圆柱体 装置 | ||
【主权项】:
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