[实用新型]一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置有效
| 申请号： | 201920503557.5 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN209798096U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谢静娜 |
| 地址： | 526060 广东省肇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置，包括旋转辊、镀膜室和氧化室，沿基材的输送方向，旋转辊的外侧依次设有镀膜室和氧化室，旋转辊内侧与氧化室的相对之处设有磁铁组件，磁铁组件中，任意相邻的两个磁铁之间，朝向氧化室的端部极性相反；氧化室内设有进气管，进气管与旋转辊之间连接有电池。本实用新型是在基材镀完氧化硅后，通过增加氧离子密度来加强膜层的氧化效果，从而提高膜层中氧化硅的纯度和膜层透明度，进而提高膜层的光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转辊 氧化室 膜层 本实用新型 磁铁组件 镀膜室 进气管 氧化硅 基材 光学镀膜装置 端部极性 光学性能 加强膜层 氧化效果 卷绕式 氧离子 增强型 磁铁 磁控 离子 电池 室内 透明度 | ||
【主权项】：
1.一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置，其特征在于，包括旋转辊、镀膜室和氧化室，沿基材的输送方向，旋转辊的外侧依次设有镀膜室和氧化室，旋转辊内侧与氧化室的相对之处设有磁铁组件，磁铁组件中，任意相邻的两个磁铁之间，朝向氧化室的端部极性相反；氧化室内设有进气管，进气管与旋转辊之间连接有电池。/n
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