[实用新型]一种真空镀膜的沉积装置有效
| 申请号： | 201920481322.0 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN209989461U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 傅其裕 | 申请（专利权）人： | 百腾科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 11350 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜的沉积装置，该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件，所述机架上固定有沉积室，沉积室底部安装有轴套，轴套里通过轴承插装有转轴，转轴底部安装有从动带轮，机架侧端还设有电机，电机的电机轴上安装有主动带轮，从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接，沉积室内的转轴上设置有旋转组件。通过上述方式，本实用新型结构紧凑，运行平稳，能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理，保证镀膜的均匀性，减少镀膜死角，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 转轴 从动带轮 主动带轮 沉积室 轴套 本实用新型 电机 沉积装置 齿形皮带 旋转组件 真空镀膜 镀膜处理 镀膜死角 电机轴 均匀性 侧端 镀膜 沉积 轴承 室内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜的沉积装置，其特征在于：该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件，所述机架上固定有沉积室，沉积室底部安装有轴套，轴套里通过轴承插装有转轴，转轴底部安装有从动带轮，机架侧端还设有电机，电机的电机轴上安装有主动带轮，从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接，沉积室内的转轴上设置有旋转组件。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于百腾科技(苏州)有限公司，未经百腾科技(苏州)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920481322.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种晶振头随转膜厚自动监控系统
- 下一篇：一种镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
