[实用新型]用于放置喷嘴的装置有效
| 申请号： | 201920450748.X | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209968752U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张海陆;王立聪;颜廷彪 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/555 | 分类号： | B05B15/555;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于放置喷嘴的装置，其能够对喷嘴进行单独清洗，能够减少清洗液的使用量，避免不同的喷嘴之间的交叉污染，且能够预防多种光刻胶混合后发生反应形成结晶而堵塞排液管的情况发生，降低清洗腔及排液管的清洗频率；同时，喷嘴不需要移动就可以清洗，提高了设备的利用率，降低了生产成本；另外，在喷嘴闲置时，在清洗腔中可存放清洗液，利用清洗液的挥发，保证喷嘴闲置时也能够时刻处于湿润的状态，避免光刻胶在所述喷嘴上结晶，从而避免喷嘴被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 清洗液 光刻胶 排液管 清洗腔 清洗 闲置 本实用新型 交叉污染 清洗频率 挥发 生产成本 湿润 堵塞 移动 污染 预防 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于放置喷嘴的装置，其特征在于，包括至少一喷嘴室，所述喷嘴室包括：/n一容纳腔，其允许一喷嘴插入：/n一清洗腔，设置在所述容纳腔底部，且与所述容纳腔连通，所述清洗腔内能够放置一清洗液，所述清洗腔具有一进液口及一排液口，所述进液口允许所述清洗液进入所述清洗腔，并喷向所述喷嘴，以清洗所述喷嘴，所述排液口允许所述清洗液自所述清洗腔排出。/n
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