[实用新型]实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台有效
申请号: | 201920448327.3 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN210108265U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 杨钢;王肖隆;冀聪;王子轩;王晶;陈春霖;吴彬;程冰;童建平;林强 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 王兵;黄美娟 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台,三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板,上动平板和下静平板之间有三个传动组件,三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上,压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头,下球形顶头的半球形顶头嵌入上圆弧凹槽传动平板的圆弧形凹槽内;上圆弧凹槽传动平板安装在上动平板的圆槽内,弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置,激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置,劈尖干涉装置连接被测物体,待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。 | ||
搜索关键词: | 实时 读取 位移 转动 信息 自由度 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学,未经浙江工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920448327.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种自行车拖车快速适配机构
- 下一篇:一种滚动式快速换布拖把