[实用新型]实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台有效

专利信息
申请号: 201920448327.3 申请日: 2019-04-03
公开(公告)号: CN210108265U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 杨钢;王肖隆;冀聪;王子轩;王晶;陈春霖;吴彬;程冰;童建平;林强 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 王兵;黄美娟
地址: 310014 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实时读取位移转动信息的三自由度纳米定位平台,三自由度纳米定位平台包括上传动平板和下静平板,上动平板和下静平板之间有三个传动组件,三个传动组件呈120°均匀地分布在通过三个传动组件的圆周上,压电陶瓷驱动器的顶部连接下球形顶头,下球形顶头的半球形顶头嵌入上圆弧凹槽传动平板的圆弧形凹槽内;上圆弧凹槽传动平板安装在上动平板的圆槽内,弹簧平行于压电陶瓷驱动器呈120°均匀地分布在上动平板和下静平板的弹簧支架上。还包括实时读取微动倾斜平台位移角度信息的测量装置,激光器的输出激光以45度角对准反射装置的反射面垂直透射进劈尖干涉装置,劈尖干涉装置连接被测物体,待测物体放置在三自由度纳米定位平台上面。
搜索关键词: 实时 读取 位移 转动 信息 自由度 纳米 定位 平台
【主权项】:
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