[实用新型]一种磁电阻惯性传感器芯片

摘要

本实用新型公开一种磁电阻惯性传感器芯片，包括基底、振动隔膜、感应磁电阻、至少一个永磁薄膜，振动隔膜覆盖在基底的一侧表面，感应磁电阻和永磁薄膜设置于振动隔膜远离基底的表面，在振动隔膜远离基底的表面还设置有接触电极，感应磁电阻通过连接引线与接触电极连接；基底包括刻蚀形成的空腔，感应磁电阻与永磁薄膜之一或者全部设置于空腔在振动隔膜的垂直投影区域内。本实用新型磁电阻惯性传感器芯片的永磁薄膜产生的磁场在感应磁电阻的灵敏度方向分量产生变化，使感应磁电阻的阻值产生变化，造成输出电信号变化。本实用新型利用磁电阻的高灵敏度及高频响特性，提高输出信号强度及频率响应，有利于微弱压力、振动或加速度及高频振动的检测。

主权项

1.一种磁电阻惯性传感器芯片，其特征在于，包括基底、振动隔膜、感应磁电阻、至少一个永磁薄膜，其中：所述振动隔膜覆盖在所述基底的一侧表面，所述感应磁电阻和所述永磁薄膜设置于所述振动隔膜远离所述基底的表面，在所述振动隔膜远离所述基底的表面还设置有接触电极，所述感应磁电阻通过连接引线与所述接触电极连接；所述基底包括刻蚀形成的空腔，所述感应磁电阻与所述永磁薄膜之一或者全部设置于所述空腔在所述振动隔膜的垂直投影区域内，所述永磁薄膜产生的磁场在所述感应磁电阻的灵敏度方向分量产生变化，使所述感应磁电阻的阻值产生变化，从而造成输出电信号变化。