[实用新型]一种磁控溅射沉积用侧向旋转样品台转架有效
| 申请号： | 201920405211.1 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN209722289U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋成燕 | 申请（专利权）人： | 兰州工业学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 62201 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张英荷<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 730050 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射沉积用侧向旋转样品台转架，属于磁控溅射装置技术领域。包括至少两个样品托，样品托为空心圆柱形，样品托的一端固定有固定杆，另一端固定有齿轮垫管，固定杆套接第一轴承，第一轴承的一侧设有轴承压板，第一轴承的顶部设有轴承板，第一轴承的外侧设有端垫，齿轮垫管套接第二轴承，第二轴承外侧嵌套设有支撑座，齿轮垫管的端部活动连接齿轮。本实用新型中的样品台转架，保证了球体零件沉积装置可实现球体零件的动态沉积，所得涂层具有均匀性高，且省去多次沉积所带来的时间耗费等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承 齿轮垫 样品托 本实用新型 球体零件 样品台 转架 嵌套 磁控溅射沉积 磁控溅射装置 空心圆柱形 侧向旋转 沉积装置 动态沉积 固定杆套 活动连接 轴承压板 固定杆 均匀性 支撑座 轴承板 齿轮 管套 沉积 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射沉积用侧向旋转样品台转架，其特征在于，包括：至少两个样品托（5），所述样品托（5）为空心圆柱形，所述样品托（5）的一端固定有固定杆，另一端固定有齿轮垫管（7），所述固定杆套接第一轴承，所述第一轴承的一侧设有轴承压板（2），所述第一轴承的顶部设有轴承板（3），所述第一轴承的外侧设有端垫（1），所述齿轮垫管（7）套接第二轴承（9），所述第二轴承（9）外侧嵌套设有支撑座（6），所述齿轮垫管（7）的端部活动连接齿轮（8）。/n
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