[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201920390317.9 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN209741262U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 何佳新 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种镀膜装置，镀膜装置包括转动主轴，多个靶材环绕连接于转动主轴且可绕转动主轴转动；其中，构成不同靶材的靶材材料不同；不同的靶材在不同的转动位置与待成膜基板相对设置，靶材到转动主轴的垂直距离小于待成膜基板到转动主轴的垂直距离。通过上述技术方案，在实现了在待成膜基板上制作包括至少两层不同材料薄膜的复合薄膜的同时，相对于采用多个溅射工艺腔体或单个更大的溅射腔体大大减小了镀膜装置的占地面积，有利于镀膜装置的小型化，降低镀膜装置的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜装置 转动主轴 靶材 成膜基板 垂直距离 本实用新型 靶材材料 材料薄膜 复合薄膜 工艺腔体 环绕连接 溅射腔体 相对设置 转动位置 减小 溅射 两层 转动 制作 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：/n转动主轴，多个靶材环绕连接于所述转动主轴且可绕所述转动主轴转动；其中，构成不同所述靶材的靶材材料不同；/n不同的所述靶材在不同的转动位置与待成膜基板相对设置，所述靶材到所述转动主轴的垂直距离小于所述待成膜基板到所述转动主轴的垂直距离。/n
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