[实用新型]一种真空镀膜机的供电系统有效

专利信息
申请号: 201920376974.8 申请日: 2019-03-23
公开(公告)号: CN209798073U 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 董旺鹏 申请(专利权)人: 厦门正顺兴钛金科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜机的技术领域,涉及一种真空镀膜机的供电系统,其包括设置在镀膜室上的供电件,以及与靶源连接的供电线,且所述供电线与所述供电件连接;还包括夹线装置,所述夹线装置包括设置在镀膜室上的连接板,所述连接板上固定连接有固定杆,所述固定杆的横截面积呈L形;所述连接板上设置有与所述固定杆卡接的卡扣机构。本实用新型设置的夹线装置能够将搭在真空镀膜机外壁上的供电线限定在连接板上,不用人工一直操作,从而提高效率。直流脉冲电源发出的直流脉冲能够使真空镀膜机内镀层更加细腻。
搜索关键词: 真空镀膜机 连接板 夹线装置 供电线 本实用新型 镀膜室 供电件 固定杆 供电系统 直流脉冲电源 固定杆卡 直流脉冲 靶源 镀层 外壁
【主权项】:
1.一种真空镀膜机的供电系统,包括设置在镀膜室上的供电件(11),以及与靶源连接的供电线(12),且所述供电线(12)与所述供电件(11)连接;其特征在于,还包括夹线装置(2),所述夹线装置(2)包括设置在镀膜室上的连接板(21),所述连接板(21)上固定连接有固定杆(22),所述固定杆(22)的横截面积呈L形;所述连接板(21)上设置有与所述固定杆(22)卡接的卡扣机构(3)。/n
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