[实用新型]全自动炉室升降旋转系统有效
| 申请号： | 201920361749.7 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN210085620U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;春伟博;谭庆;梁成锋 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种全自动炉室升降旋转系统。包括立柱本体。立柱本体侧壁上自上至下沿线性依次设有上支撑座、升降机支座与下支撑座；升降机支座内设有通过伺服电机驱动的升降机组件；提升机构包括丝杆，丝杆下端与升降机组件相连；丝杆中部通过螺母连接有提升板，丝杆顶端设有丝杆顶座，丝杆顶座固设于立柱本体上；托架组件包括托架、调节支架和提升块；提升块一端和炉体连接，另一端通过调节支架与托架相连，托架固设于提升轴承座侧部。本实用新型使设备运行更加平稳，在旋转和升降精度上达到半导体设备的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 升降 旋转 系统 | ||
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