[实用新型]真空干燥装置有效
| 申请号： | 201920302302.2 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN210101058U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 史横舟;孙雅娟;王允军 | 申请（专利权）人： | 苏州星烁纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括真空腔室及位于真空腔室内部的支撑件，所述真空腔室包括抽气口，所述抽气口与真空腔室连通，所述抽气口分别位于真空腔室的侧部及底部，用于抽取所述真空腔室内部的气体或向所述真空腔室内部填充气体；所述支撑件位于真空腔室的下方，用于承载表面涂覆有功能墨水的基板。该真空干燥装置设有多个抽气口，分别位于真空腔室的侧部及底部，有利于在抽气干燥过程中均衡基板中部区域与边缘区域的气流，促使基板各处溶剂挥发速度稳定，提高了成膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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