[实用新型]一种气体回用装置及单晶硅生产设备有效
| 申请号： | 201920298047.9 | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN210657214U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 贾祯;金雪;冉瑞应;杨东 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体回用装置及单晶硅生产设备，该气体回用装置包括：气体净化模块、检测模块以及控制模块；其中，气体净化模块分别与单晶硅生产设备的出气口及进气口连接，检测模块分别与气体净化模块的出气口和单晶硅生产设备的进气口连接，控制模块分别与所述气体净化模块、所述纯净气体储存罐、所述检测模块电性连接，所述控制模块用于控制所述气体净化模块向所述单晶硅生产设备供气，或者，控制所述纯净气体储存罐向所述单晶硅生产设备供气。本实用新型实施例中，可以避免将不符合使用要求的气体通入所述单晶硅生产设备，提高所述单晶硅生产设备生产的单晶硅的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 装置 单晶硅 生产 设备 | ||
【主权项】：
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