[实用新型]一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置

摘要

本实用新型涉及晶片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，可对碳化硅晶片进行固定，保证碳化硅晶片的上蜡质量；可自动对碳化硅晶片进行上蜡，有效的减轻工作人员的劳动强度；包括工作台、四组支腿和打蜡块；还包括左滑块、右滑块、左弹簧、右弹簧、左压紧板、右压紧板、受力绳、牵引绳、两组固定板、安装座、第一电机、转轴和卷线筒，工作台顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，第一电机左部输出端设置有减速机；还包括左支撑柱、右支撑柱、横板、滑动板、转动杆、左连接板、右连接板、第二电机和气缸，横板底端中央区域设置有稳定槽，气缸底部输出端设置有伸缩杆。

主权项

1.一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，包括工作台(1)、四组支腿(2)和打蜡块(3)，四组支腿(2)顶端分别与工作台(1)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接；其特征在于，还包括左滑块(4)、右滑块、左弹簧(5)、右弹簧、左压紧板(6)、右压紧板、受力绳(7)、牵引绳(8)、两组固定板(9)、安装座(10)、第一电机(11)、转轴(12)和卷线筒(13)，工作台(1)顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，工作台(1)底端中央区域设置有通槽，所述通槽内左侧壁和内右侧壁上半区域分别横向设置有左连接孔和右连接孔，所述左连接孔和右连接孔分别与左滑动槽和右滑动槽连通，所述左滑块(4)和右滑块底端分别位于左滑动槽和右滑动槽内，所述左弹簧(5)左端和右弹簧右端分别与左滑块(4)右侧壁和右滑块左侧壁下半区域连接，左弹簧(5)右端和右弹簧左端分别与左滑动槽内右侧壁和右滑动槽内左侧壁中央区域连接，所述左压紧板(6)和右压紧板底端分别与左滑块(4)和右滑块顶端中央区域连接，所述受力绳(7)左端依次穿过左连接孔和左弹簧(5)并与左滑块(4)右端连接，受力绳(7)右端依次穿过右连接孔和右弹簧并与右滑块左端连接，所述两组固定板(9)顶端分别与工作台(1)底端左半区域和右半区域连接，两组固定板(9)左侧壁下半区域分别横向设置有两组贯通孔，所述安装座(10)顶端与工作台(1)底端右半区域连接，安装座(10)底端与第一电机(11)顶端连接，所述第一电机(11)左部输出端设置有减速机(14)，所述转轴(12)右端依次穿过两组贯通孔并与减速机(14)左部输出端连接，所述卷线筒(13)套装固定在转轴(12)上，所述牵引绳(8)一端与受力绳(7)中部连接，牵引绳(8)另一端缠绕在卷线筒(13)上；还包括左支撑柱(15)、右支撑柱(16)、横板(17)、滑动板(18)、转动杆(19)、左连接板(20)、右连接板、第二电机(21)和气缸(22)，所述左支撑柱(15)和右支撑柱(16)底端分别与工作台(1)顶端左半区域和右半区域连接，左支撑柱(15)和右支撑柱(16)顶端分别与横板(17)底端左半区域和右半区域连接，所述横板(17)底端中央区域设置有稳定槽，所述左连接板(20)和右连接板顶端分别与横板(17)底端左半区域和右半区域连接，左连接板(20)和右连接板左侧壁中央区域分别横向设置有左转动孔和右转动孔，所述第二电机(21)安装在横板(17)底端左半区域，所述转动杆(19)左端与第二电机(21)右部输出端连接，转动杆(19)右端穿过左转动孔并插入至右转动孔内，并在转动杆(19)与左转动孔和右转动孔内侧壁之间分别设置有第一左滚珠轴承(23)和第一右滚珠轴承，转动杆(19)外侧壁中央区域设置有外螺纹，所述滑动板(18)螺装套设在转动杆(19)外侧，滑动板(18)顶端伸入至稳定槽内，所述气缸(22)顶端与滑动板(18)底端中央区域连接，气缸(22)底部输出端设置有伸缩杆(24)，打蜡块(3)安装在伸缩杆(24)底端。