[实用新型]一种脱膜装置有效

专利信息
申请号: 201920240884.6 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN209328879U 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 杨俊敬;殷永庭;吴兆允;王莉莉 申请(专利权)人: 川奇光电科技(扬州)有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 李有财
地址: 225009 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开一种脱膜装置,其包括承载平台、下压机构与吹气机构。承载平台用于承载面板料件,承载平台具有斜部,斜部位于承载平台的一侧,面板料件包括薄膜与基板,薄膜覆盖于基板,薄膜置于承载平台的表面,基板远离承载平台,位于斜部的上方的面板料件的薄膜与基板分离,薄膜置于斜部的表面。下压机构位于承载平台的上方,下压机构用以固定基板于承载平台上。吹气机构位于承载平台的斜部的一侧,吹气机构具有出风口,吹气机构抵压置于斜部的薄膜,出风口朝向薄膜与基板的分离处。如此脱膜装置将薄膜剥离基板时,薄膜附着于基板的附着力会对于薄膜的影响较小。
搜索关键词: 承载平台 薄膜 基板 斜部 吹气机构 脱膜装置 下压机构 料件 出风口 附着力 本实用新型 薄膜剥离 薄膜覆盖 承载面板 固定基板 基板分离 抵压 附着
【主权项】:
1.一种脱膜装置,其特征在于,包括:承载平台,其用于承载面板料件,所述承载平台具有斜部,所述斜部位于所述承载平台的一侧,所述面板料件包括薄膜与基板,所述薄膜覆盖于所述基板,所述薄膜置于所述承载平台的表面,所述基板远离所述承载平台,位于所述斜部的上方的所述面板料件的所述薄膜与所述基板分离,所述薄膜置于所述斜部的表面;下压机构,其位于所述承载平台的上方,所述下压机构用以固定所述基板于所述承载平台上;以及吹气机构,其位于所述承载平台的所述斜部的一侧,所述吹气机构具有出风口,所述吹气机构抵压置于所述斜部的所述薄膜,所述出风口朝向所述薄膜与所述基板的分离处。
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