[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 201920197660.1 | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN209636370U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨健;费正洪 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 224431江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉，涉及太阳能电池制备技术领域。该扩散炉包括炉体、由炉体的根部伸入炉体内的进气管和排气管，进气管设置于排气管的上方，进气管和排气管之间形成容纳承载硅片的载体的空间，进气管包括主管路及多个副管路，主管路沿炉体轴向设置；多个副管路水平设置并与主管路的外周面连通，副管路和主管路的外周面上均设置有多个喷淋孔；排气管上沿轴向设置有多个开口向上的排气孔。该扩散炉中，进气管上设置有喷淋孔，排气管上设置排气孔，可以使炉体内的气体上下流动，有利于提高炉体内扩散气体的均匀性，从而提高扩散效果；进气管包括水平设置的副管路，可以将主管路中的气体向两侧扩散，提高气体沿炉体径向分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 进气管 排气管 副管路 主管路 扩散炉 水平设置 体内 均匀性 排气孔 喷淋孔 扩散 炉体 太阳能电池制备 本实用新型 开口向上 炉体径向 炉体轴向 上下流动 轴向设置 外周面 硅片 伸入 外周 连通 承载 容纳 主管 | ||
【主权项】：
1.一种扩散炉，包括炉体(1)、由所述炉体(1)的根部伸入所述炉体(1)内的进气管(2)和排气管(3)，所述进气管(2)设置于所述排气管(3)的上方，所述进气管(2)和所述排气管(3)之间形成容纳承载硅片(5)的载体的空间，其特征在于，所述进气管(2)包括：/n主管路(21)，所述主管路(21)沿所述炉体(1)轴向设置；及/n多个副管路(22)，多个所述副管路(22)水平设置并与所述主管路(21)的外周面连通，所述副管路(22)和所述主管路(21)的外周面上均设置有多个喷淋孔(211)；/n所述排气管(3)上沿轴向设置有多个开口向上的排气孔(31)。/n
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