[实用新型]一种石英舟退火支承台

摘要

本实用新型公开了一种石英舟退火支承台，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟在退火工序中易发生形变的问题。主要包括两耐高温支撑架、设置在两耐高温支撑架之间的耐高温拉绳，以及由拉绳收紧的耐高温平板。本实用新型结构设计构思巧妙，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中发生形变，有效保证了石英舟的产品品质；拉绳式结构设计使得本实用新型具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实用新型制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。

主权项

1.一种石英舟退火支承台，其特征在于：包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；两所述耐高温支撑架上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔；在所述上槽棒拉绳通孔下方，两所述耐高温支撑架上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔；所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳的两头，所述上槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ，所述上槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ紧贴石英舟上槽棒底端；所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳的两头，所述下槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ，所述下槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ紧贴石英舟下槽棒底端。