[实用新型]一种定位曝光机构有效
| 申请号： | 201920169135.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209446971U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 杨大昆;陈建明;梁添贵;倪沁心 | 申请（专利权）人： | 广东华恒智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 陈万江 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及曝光机技术领域，尤其是指一种定位曝光机构，包括机架，所述机架上设置有吸附装置、曝光装置以及用于将所述吸附装置转移至所述曝光装置中的转移装置；所述吸附装置包括底座以及设置于底座上方的支撑板，所述支撑板上方设置有复合式吸盘，所述复合式吸盘包括吸盘本体、鼓风机以及真空泵，所述吸盘本体的中部设置有真空孔组，真空孔组的两侧均设置有吸风孔组；所述底座设置有第二升降气缸。本实用新型实现对物料的吸附，结合鼓风机和真空泵实现对物料的吸附，提高吸附的平整性和可靠性，进而对物料吸附定位，防止位置偏移，提高曝光精确度，方便调节曝光的距离和高度，使用方便、灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附装置 吸附 底座 吸盘 鼓风机 本实用新型 曝光机构 曝光装置 吸盘本体 复合式 真空泵 真空孔 支撑板 方便调节 升降气缸 位置偏移 物料吸附 转移装置 曝光 平整性 曝光机 吸风孔 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种定位曝光机构，其特征在于：包括机架，所述机架上设置有吸附装置、曝光装置以及用于将所述吸附装置转移至所述曝光装置中的转移装置；所述吸附装置包括底座以及设置于底座上方的支撑板，所述支撑板上方设置有复合式吸盘，所述复合式吸盘包括吸盘本体、鼓风机以及真空泵，所述吸盘本体的中部设置有真空孔组，真空孔组的两侧均设置有吸风孔组，真空孔组包括多个真空孔，吸风孔组包括多个吸风孔，所述真空泵的抽真空端与真空孔组底端连通；所述鼓风机的吸风端与吸风孔组底端连通；所述底座设置有第二升降气缸，所述第二升降气缸的输出端穿过支撑板后与所述吸盘本体的底部连接。
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