[实用新型]一种自动化硅片脱胶机有效

专利信息
申请号: 201920168347.5 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN209697606U 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 张建华 申请(专利权)人: 无锡中环应用材料有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10
代理公司: 32228 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 代理人: 冯智文<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 214200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及硅片加工技术领域,尤其为一种自动化硅片脱胶机,包括存储架、转动架、安装架、脱胶水槽和水箱,所述安装架设置有两个,两个所述安装架的上端皆设置有转动架,两个所述转动架通过转轴分别与两个所述安装架之间转动连接,两个所述转动架上皆均匀安装有六个托盘吊架,前后两侧的所述托盘吊架之间设置有存储架,所述存储架通过转动连接件与两个所述托盘吊架连接,两个所述安装架之间的下方位置上安装有脱胶水槽,所述脱胶水槽的前方位置上安装有水箱;本实用新型中,通过设置存储架、转动架和传动架,增加了装置的自动化水平,增加了脱胶效率以及脱胶质量。
搜索关键词: 安装架 转动架 脱胶 水槽 托盘 存储架 吊架 本实用新型 水箱 硅片脱胶机 转动连接件 自动化水平 硅片加工 均匀安装 前方位置 设置存储 下方位置 转动连接 上端 传动架 转轴 自动化
【主权项】:
1.一种自动化硅片脱胶机,包括存储架(1)、转动架(3)、安装架(4)、脱胶水槽(7)和水箱(10),其特征在于:所述安装架(4)设置有两个,两个所述安装架(4)的上端皆设置有转动架(3),两个所述转动架(3)通过转轴分别与两个所述安装架(4)之间转动连接,两个所述转动架(3)上皆均匀安装有六个托盘吊架(2),前后两侧的所述托盘吊架(2)之间设置有存储架(1),所述存储架(1)通过转动连接件(5)与两个所述托盘吊架(2)连接,所述存储架(1)内部的右上方位置上安装有防水罩(17),所述防水罩(17)内部安装有输料电机(16),所述输料电机(16)的输出轴通过联轴器与转动轴(18)一端转动连接,所述存储架(1)右端的下方位置上安装有传动箱(23),所述传动箱(23)内部的上方位置上安装有主动锥形齿轮(21),所述主动锥形齿轮(21)的下方位置上安装有从动锥形齿轮(22),所述主动锥形齿轮(21)与从动锥形齿轮(22)之间啮合连接,所述从动锥形齿轮(22)与安装架(4)下方位置上的丝杆(20)之间转动连接,所述丝杆(20)上方的安装架(4)上安装有传动架(19),所述传动架(19)与安装架(4)之间滑动连接,所述传动架(19)与丝杆(20)上的滚珠连接,两个所述安装架(4)之间的下方位置上安装有脱胶水槽(7),所述脱胶水槽(7)的前方位置上安装有水箱(10),所述脱胶水槽(7)的右侧位置上安装有抽水泵(13),所述抽水泵(13)的进水口通过导水管与脱胶水槽(7)之间密封连接,所述抽水泵(13)的出水口通过导水管与水箱(10)的进水口之间密封连接。/n
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