[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置

摘要

本实用新型涉及半导体器件制造技术领域，且公开了一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐和真空泵，除泡罐的侧壁顶端固定连通有气管，气管远离除泡罐的一端与真空泵的进气端固定连通，除泡罐的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖，除泡罐的顶部开设有环形的安装槽，安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈，罐盖的内顶部开设有环形的容纳槽，橡胶圈的顶端延伸至容纳槽的内部，橡胶圈的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，罐盖的顶部固定连通有进料管，除泡罐的底部固定连通有出料管。本实用新型能够有效地对光阻剂进行脱气泡，且有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题。

主权项

1.一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐（1）和真空泵（2），所述除泡罐（1）的侧壁顶端固定连通有气管，所述气管远离除泡罐（1）的一端与真空泵（2）的进气端固定连通，其特征在于，所述除泡罐（1）的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖（3），所述除泡罐（1）的顶部开设有环形的安装槽，所述安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈（4），所述罐盖（3）的内顶部开设有环形的容纳槽，所述橡胶圈（4）的顶端延伸至容纳槽的内部，所述橡胶圈（4）的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈（4）的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，所述罐盖（3）的顶部固定连通有进料管（5），所述除泡罐（1）的底部固定连通有出料管（8），所述进料管（5）和出料管（8）上分别固定连通有第一阀门（9）和第二阀门（10），所述进料管（5）的上方设置有用于进料的导料机构，所述除泡罐（1）的底部固定连接有四个均匀分布的支撑块（6）。