[实用新型]一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置有效

专利信息
申请号: 201920154965.4 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN209767305U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 丁晨阳;李涵雄;张国旗;李平;陈椿元;吴晓辉 申请(专利权)人: 广东极迅精密仪器有限公司
主分类号: H02K7/00 分类号: H02K7/00;H02K1/12;H02K3/28;H02K11/21;H02K11/22
代理公司: 11511 北京得信知识产权代理有限公司 代理人: 孟海娟;阿苏娜
地址: 528222 广东省佛山市南海区狮山镇南海*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置,其包括工作台和定子,其中定子设计有一个工作区域并且定子包括磁体块系统,工作台沿第三方向(Z)可移动地与定子邻接配置,工作台包括电机线圈系统,电机线圈系统与磁体块系统作用,使工作台在工作区范围内产生六个自由度的位移,还包括多个长距离无接触位移传感器和多个短距离无接触位移传感器,长距离无接触位移传感器安装在定子上,通过多个长距离无接触位移传感器的反馈信号得出工作台沿第一方向(X)和第二方向(Y)平动以及绕第三方向(Z)转动的三个自由度运动的位移,短距离无接触位移传感器沿第三方向(Z)安装在工作台上,指向定子,用于测量工作台和定子的间距。
搜索关键词: 位移传感器 工作台 无接触 电机线圈 本实用新型 自由度运动 定子设计 反馈信号 工作区域 可移动地 邻接配置 位移装置 系统作用 面电机 平动 转动 测量 指向
【主权项】:
1.一种基于混合位移传感器和平面电机的位移装置,其特征在于,/n包括工作台和定子,其中所述定子设计有一个工作区域并且所述定子包括磁体块系统,所述磁体块系统包括:/n多个第一类磁体块,每个所述第一类磁体块包括多个在第一方向(X)上大致线性延伸的第一磁体,每个所述第一磁体具有与所述第一方向(X)大致正交的磁化方向,而且至少两个所述第一磁体具有彼此不同的磁化方向;以及/n多个第二类磁体块,每个所述第二类磁体块包括多个在第二方向(Y)上大致线性延伸的第二磁体,所述第二方向(Y)与所述第一方向(X)大致正交,每个所述第二磁体具有与所述第二方向(Y)大致正交的磁化方向,而且至少两个所述第二磁体具有彼此不同的磁化方向,/n其中,所述工作台沿第三方向(Z)可移动地与所述定子邻接配置,所述第三方向(Z)与所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)均大致正交,所述工作台包括电机线圈系统,所述电机线圈系统包括:/n第一类线圈组件,每个所述第一类线圈组件包括多个导电体,这些导电体沿着第一方向(X)大致线性延伸;以及/n第二类线圈组件,每个所述第二类线圈组件包括多个导电体,这些导电体沿着第二方向(Y)大致线性延伸;/n所述电机线圈系统与所述磁体块系统作用,使所述工作台在工作区范围内产生沿第一方向(X)和第二方向(Y)平动的长距离位移,以及沿第三方向(Z)平动、绕第一方向(X)、第二方向(Y)和第三方向(Z)转动的短距离位移,/n所述第一类线圈组件在第一方向(X)上的尺寸基本上等于n(m
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