[实用新型]石英晶片的清洗装置有效

专利信息
申请号: 201920152066.0 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN209631709U 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 欧阳林;欧阳晟;韩何明;欧阳华 申请(专利权)人: 广州晶优电子科技有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00
代理公司: 44446 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 林伟斌<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 510663广东省广州市高*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及石英晶片加工领域,具体公开了一种石英晶片的清洗装置,所述清洗装置用于放置安装有石英晶片的镀膜夹具;所述清洗装置包括一上开口的提篮,所述提篮设有若干用于插入安装镀膜夹具的导轨槽。本实用新型提供了一种结构简单的石英晶片的清洗装置,通过设置多个用于安装镀膜夹具的导轨槽,由于石英晶片是直接安装在镀膜夹具上,在清洗过程中,完全避免了石英晶片在清洗过程中出现的吸附堆叠在一起的现象,有效提升石英晶片的清洗效果,实现对石英晶片的全面清洗,有助于产品质量及合格率的提高;同时本方案能够实现大量石英晶片的同时清洗,清洗效率高,有助于提高生产效率。
搜索关键词: 石英晶片 镀膜夹具 清洗装置 本实用新型 清洗过程 导轨槽 提篮 石英晶片加工 插入安装 清洗效果 清洗效率 全面清洗 生产效率 直接安装 上开口 堆叠 吸附 清洗 合格率
【主权项】:
1.一种石英晶片的清洗装置,其特征在于,所述清洗装置用于放置镀膜夹具(31),该镀膜夹具(31)用于安装石英晶片;所述清洗装置包括一上开口的提篮(32),所述提篮(32)设有若干用于插入安装镀膜夹具(31)的导轨槽(402)。/n
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